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四探針測試儀(主機、S2A 測試臺、FT201探頭)

價格:26000元 貨號:PN000131 上架日期:09-11-19 16:01 人氣:
產品資料
  
四探針測試儀(主機、S2A 測試臺、FT201探頭)
本儀器適用于半導體材料廠、半導體器件廠、科研單位、高等院校對半導體材料的電阻性能測試。
運用四探針測量原理的多用途綜合測量設備。該儀器按照單晶硅物理測試方法國家標準并參考美國 A.S.T.M 標準而設計的,專用于測試半導體材料電阻率及方塊電阻(薄層電阻)的專用儀器。
儀器由主機、測試臺、四探針探頭、計算機等部分組成,測量數據既可由主機直接顯示,亦可由計算機控制測試采集測試數據到計算機中加以分析,然后以表格,圖形方式統計分析顯示測試結果。
儀器采用了最新電子技術進行設計、裝配。具有功能選擇直觀、測量取數快、精度高、測量范圍寬、穩定性好、結構緊湊、易操作等特點。

測試程序控制四探針測試儀進行測量并采集測試數據,把采集到的數據在計算機中加以分析,然后把測試數據以表格,圖形直觀地記錄、顯示出來。用戶可對采集到的數據在電腦中保存或者打印以備日后參考和查看,還可以把采集到的數據輸出到Excel中,讓用戶對數據進行各種數據分析

測量范圍

 電阻率:10-4105 Ω.cm(可擴展)  
 
方塊電阻:10
-3106 Ω/□(可擴展)
 
電導率:10
-5104 s/cm
 
電阻:10
-4105 Ω

可測晶片直徑

 140mmX150mm(S-2A型測試臺)
 200mmX200mm(
S-2B型測試臺)
 400mmX500mm(
S-2C型測試臺)

恒流源

 電流量程分為1μA10μA100μA1mA10mA100mA六檔,各檔電流連續可調

數字電壓表

 量程及表示形式:000.00199.99mV;    
 
分辨力:10μV
 
輸入阻抗:>1000MΩ
 
精度:±0.1%
 
顯示:四位半紅色發光管數字顯示;極性、超量程自動顯示;

四探針探頭基本指標

 間距:1±0.01mm
 
針間絕緣電阻:≥1000MΩ
 
機械游移率:≤0.3%
 
探針:碳化鎢或高速鋼Ф0.5mm
 
探針壓力:516 牛頓(總力)

四探針探頭應用參數

 (見探頭附帶的合格證)

模擬電阻測量相對誤差
(
JJG508-87進行)

 0.01Ω0.1Ω10Ω100Ω1000Ω10000Ω≤0.3%±1

整機測量最大相對誤差

(用硅標樣片:0.01-180Ω.cm測試)≤±5%

整機測量標準不確定度

 ≤5%

計算機通訊接口

 并口

標準使用環境

 溫度:23±2℃;
 
相對濕度:≤65%
 
無高頻干擾;
 
無強光直射;

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