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四探針測試儀(主機,探頭,手動測試臺)

價格:13800元 貨號:PN000132 上架日期:09-11-19 17:12 人氣:
產品資料
  
四探針測試儀(電阻率:0.001~200Ω·cm,方塊電阻:0.01~2000Ω/□,可擴展,主機,S2A 測試臺,FT201探頭)
該儀器按照單晶硅物理測試方法國家標準并參考美國 A.S.T.M 標準而設計的,專用于測試半導體材料電阻率及方塊電阻(薄層電阻)的專用儀器
測量數據既可由主機直接顯示,亦可由計算機控   制測試采集測試數據到計算機中加以分析,然后以表格,圖形方式統計分析顯示測試結果
 
測試程序控制四探針測試儀進行測量并采集測試數據,把采集到的數據在計算機中加以分析,然后把測試數據以表格,圖形直觀地記錄、顯示出來。用戶可對采集到的數據在電腦中保存或者打印以備日后參考和查看,還可以把采集到的數據輸出到Excel中,讓用戶對數據進行各種數據分析
 

測量范圍

 電阻率:0.001200Ω.cm(可擴展)  
 
方塊電阻:0.012000Ω/□(可擴展)
 
電導率:0.0051000
s/cm
 
電阻:0.001200Ω.cm

可測晶片直徑

 140mmX150mm(S2A型測試臺)
 200mmX200mm(
S2B型測試臺)
 400mmX500mm(
S2C型測試臺)

恒流源

 電流量程分為0.1mA1mA10mA100mA四檔,各檔電流連續可調

數字電壓表

 量程及表示形式:000.00199.99mV;    
 
分辨力:10μV
 
輸入阻抗:>1000MΩ
 
精度:±0.1%
 
顯示:四位半紅色發光管數字顯示;極性、超量程自動顯示;

四探針探頭基本指標

 間距:1±0.01mm
 
針間絕緣電阻:≥1000MΩ
 
機械游移率:≤0.3%
 
探針:碳化鎢或高速鋼Ф0.5mm
 
探針壓力:516 牛頓(總力)

四探針探頭應用參數

 (見探頭附帶的合格證)

模擬電阻測量相對誤差
(
JJG508-87進行)

 0.1Ω10Ω100Ω小于等于0.3%±1

整機測量最大相對誤差

(用硅標樣片:0.01-180Ω.cm測試)≤±5%

整機測量標準不確定度

 ≤5%

計算機通訊接口

 并口

標準使用環境

 溫度:23±2℃;
 
相對濕度:≤65%
 
無高頻干擾;
 
無強光直射;

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